FFU洁净空调系统的空气处理过程。室外新风W经新风机组净化、降温、减湿、再热处理后送入顶棚。为使洁净室的温湿度控制得更平稳，通常将处理后的新风调整到洁净室的要求状态N，由DDC(Direct Digital Control)实现净化新风的精确控制。由于新风机组采用了喷淋洁净水的喷淋段和再热段，所以L点应是新风机器露点，位于N点的垂直下方。经过安装在回风道上的FFU处理后的H状态回风在顶棚内与经过新风机组处理的新风混合，形成O状态的送风，再由FFU加压过滤送入洁净室内。送入室内的洁净空气吸收显热后变为室内状态N，一部分由工艺设备的排风装置排到室外，另一部分再经FFU处理后回用。
FFU系统与其他方式相比有以下几个优点：
1、灵活性大，满布率高 对IC工厂而言洁净系统的灵活性是很重要的。如果车间内洁净度随工艺变化而需要区域性调整时，可通过改变FFU风量或置换盲板来改变局部地区的洁净度。当密集布满时，布满率可达85.5%。
2、FFU上部顶棚为负压，可起负压密封作用顶棚内呈负压，洁净度内空气压力大于顶棚内空间的压力。如果FFU与支架密封处有缝隙，负压使得未经高效过滤器的空气不能进入室内，对保证洁净室的洁净度有利。
3、风系统阻力小，出风口风速低FFU的迎风面积较大，空气流动阻力在50Pa左右;回风道截面积亦大，回风道阻力在15Pa以内;多孔地板及隔栅等的阻力较小。回风全部阻力(包括多孔地板、隔栅风道)、FFU阻力及末级过滤器的阻力，总和在250Pa以内。FFU出口风速一般为0.38~0.45m/s。
4、单位风量能耗低 采用FFU后不需要再增设加压风机，不需专设机房，同时避免了送风管路的阻力。当FFU采用DC/EC(电子整流)电动机时，电动机的效率可达 75%~80%，每台可根据过滤器压降进行调速控制以节约能耗。所以单位风量的能耗一般比大型离心风机的集中系统低。
